项目简介:

      PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）—等离子体化学气相沉积，在化学气相沉积领域具有很好的前景。利用等离子体中大量高能量的电子，提供化学气相沉积过程所需的激活能，相对于其它CVD方法具有显著降低CVD薄膜沉积的温度等优点。包括辉光放电等离子体发生电源、气体质量流量计、真空计、分子泵等多个组成单元。可以在不同气压和气体环境下进行PECVD。

技术特点:

     1）自主研发的等离子体发生电源可输出较大范围内幅值、频率可调的放电电压信号；2）可实现100~105 Pa不同气压以及不同气体环境，且通过气体流量精确控制实现在任一气压值稳定气压状态。3）专用设计的反映腔体结构和水冷放电电极结构，可长时间、稳定地生成PECVD用辉光放电等离子体。腔体内部包含多种可调性测量结构，可以对生成的等离子体和PECVD过程进行多种形式的监测。4）该装置根据产品化标准进行了多重安全性和人机互动性专门设计，符合产品要求。

主要技术指标：

技术指标：输出电压波形：正弦波/脉冲波；输出电压幅值：0-10KV。

应用范围：

    该套设备是基于PECVD这一应用而研发的一套实验装备。除此之外在等离子体发生、参数测定、应用机制等多方面研究时均可得到广泛应用。

市场应用前景：

    国内从事该领域研究的科研单位越来越多，增长速度迅猛。而且等离子体技术尤其在灭菌和材料改性等领域的市场需求也逐渐增多。但是目前国内在等离子体技术研究和应用方面开展的相对较晚，相应的研究和应用设备多是从国外进口。部分科研单位和企业科研对系统中的部分单元进行自行开发，像以上所述的系统平台相对较少，所以具有很好的市场前景。

投资规模：

    涉及设备包括相关电力电子仪器和器件、高压绝缘和检测设备、等离子体发生设备，等离子体应用领域相关设备和材料。场地要求尽可能宽敞。研发资金目前已投入五十万元左右，人员包括一名副教授、一名科研助理、硕士研究生4名，技术工程师5名。

知识产权归属情况：

       独家自主。

联系方式：北京交通大学长三角研究院  科技发展部 0511-85580926、0511-85580921